Exkurs: Apparaturentwicklung zur Gasentwicklung und Gasuntersuchung - von der herkömmlichen Apparatur zur halbmikrotechnischen Arbeitsweise - |
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Inhalt
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1. Herkömmliche Apparatur:
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2. Umsetzung in die Halbmikrotechnik, Verbesserung 1. Stufe
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3. HMTC, Verbesserung 2. Stufe
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4. HMTC, Verbesserung 3. Stufe
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5. HMTC, Verbesserung 4. Stufe
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Literatur | |
Autor: |
Klaus-G. Häusler; haeusler[at]muenster[dot]de Copyright 2005-2015 HMTC Halbmikrotechnik Chemie GmbH; www.halbmikrotechnik.de |